หลักสูตรอบรม “การสังเคราะห์ฟิล์มบางเซรามิกด้วยกระบวนการสปัตเตอร์ริ่ง”
(The Synthesis of Ceramic Thin Films by Sputtering Process)


จัดโดย
ศูนย์เทคโนโลยีโลหะและวัสดุแห่งชาติ (เอ็มเทค)
สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
กระทรวงวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี

ห้อง M120 อาคารเอ็มเทค อุทยานวิทยาศาสตร์ประเทศไทย จ.ปทุมธานี
วันที่ 14-15 มิถุนายน 2560

แผนที่

วัตถุประสงค์

         อบรมเชิงปฏิบัติการเพื่อเสริมฐานความรู้ของกลุ่มผู้ผลิต ผู้ใช้ และกลุ่มผู้วิจัย  และถ่ายทอดประสบการณ์สู่บุคคลากรทางการศึกษา

หลักการและเหตุผล

         การสังเคราะห์ฟิล์มบางเซรามิกจากเป้าโลหะเป็นเทคนิคที่ให้มูลค่าเพิ่มต่อชิ้นงานสูง เพราะให้คุณภาพผิวเคลือบสูง สามารถยืดอายุการใช้งาน รวมทั้งราคาต่อหน่วยในการผลิตต่ำ แต่เนื่องจากการขาดองค์ความรู้บางประการในการควบคุมระบบในการสังเคราะห์ ทำให้ไม่สามารถได้ผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพ ในหลายกรณีผู้ใช้งานผิวเคลือบ ไม่มีองค์ความรู้ในการวิเคราะห์ทดสอบผิวเคลือบบางเหล่านั้น  ดังนั้นการเสนอองค์ความรู้และการแลกเปลี่ยนประสบการณ์ในลักษณะอบรมเชิงปฏิบัติการ จึงเป็นการสร้างฐานความรู้ที่เข็มแข็งของกลุ่มผู้ผลิต ผู้ใช้ บุคคลากรทางการศึกษา และกลุ่มผู้วิจัย ส่งผลให้เกิดเข้มเข็งในการพัฒนาต่อยอดในระยะยาว

กำหนดการและรายละเอียด
วันพุธที่ 14 มิถุนายน  2560

08.30 – 09.00 น.ลงทะเบียน
09.30 – 10.30 น.


ห้อง
M120
การประยุกต์ใช้ฟิล์มบางเซรามิกรีแอกทีฟแมกซ์นีตรอนสปัตเตอร์ริ่ง (Reactive Magnetron Sputtering)
– การเคลือบฟิล์มสารประกอบ
– ปัญหาหรืออุปสรรคสำหรับการเคลือบฟิล์ม
– วิธีการแก้ปัญหา
(อ.ดร.มนตรี  เอี่ยมพนากิจ)

10.30 – 10.45 น.พักรับประทานอาหารว่าง
10.45 – 12.00 น.


ห้อง
M120
 รีแอกทีฟไฮพีมของฟิล์มบางเซอร์รามิก (Reactive HiPIMS of ceramic thin films)
– แนะนำ HiPIMS เบื้องต้น
– การใช้ HiPIMS กับการเคลือบฟิล์มเซรามิก
– ตัวอย่าง ฟิล์มบางที่ประสบความสำเร็จในการเคลือบด้วย HiPIMS
(อ.ดร.มนตรี  เอี่ยมพนากิจ )

12.00 – 13.00 น.พักรับประทานอาหารกลางวัน
13.00 – 14.45 น.


ห้อง
M125
– สาธิตการสังเคราะห์ฟิล์มบางเซรามิก
– พารามิเตอร์ในการสังเคราะห์ฟิล์มบางเซรามิก
– การใช้เทคนิคพัลส์ดีซี (Pulsed DC) เพื่อแก้ปัญหาการอาร์คบนหน้าเป้าและควบคุมคุณภาพฟิล์มฯ
(อ.วิทวัช  วงศ์พิศาล)

14.45 – 15.00 น.พักรับประทานอาหารว่าง
15.00 – 16.30 น.


ห้อง
M125
– สาธิตไฮพีม (HiPIMS)  เน้นรูปสัญญาณของความต่างศักดิ์, รูปสัญญาณกระแส และรูปสัญญาณกำลังไฟฟ้า ทั้งโหมดการสังเคราะห์โลหะ (Metallic mode) และโหมดการสังเคราะห์รีแอกทีฟ (Reactive mode)

 (อ.ดร.พิษณุ พูลเจริญศิลป์)

วันพฤหัสบดีที่ 15 มิถุนายน  2560

08.30 – 09.00 น.ลงทะเบียน

09.30 – 10.30 น.


ห้อง
M120
– แนะนำสถานะพลาสมาเบื้องต้น
– ความสำคัญของพลาสมากับการเคลือบฟิล์มบางเทคนิคแมกนีตรอนฯ
– พารามิเตอร์ของพลาสมาและการตรวจวัด (ความหนาแน่น, พลังงาน และฟลักซ์ของไอออน) ที่เกี่ยวข้องกับการเคลือบฟิล์ม
(อ.ดร.พิษณุ พูลเจริญศิลป์)

10.30 – 10.45 น.พักรับประทานอาหารว่าง
10.45 – 12.00 น.


ห้อง
M120
เทคนิคการตรวจสอบสมบัติฟิล์มบาง : ลักษณะพื้นผิวและส่วนประกอบทางเคมี
– เทคนิคเอกซ์เรซ์ (X-ray diffraction, XRD)
– เทคนิคกล้องจุลทรรศน์อิเลคตรอนแบบส่องกราด (Scanning electron microscopy, SEM)
– เทคนิคการวิเคราะห์ธาตุด้วยอีดีเอส( Energy dispersive X-ray ,EDS)
– เทคนิคอื่นๆที่เกี่ยวข้อง
(อ.ดร.อาทิตย์ ฉิ่งสูงเนิน)

12.00 – 13.00 น.พักรับประทานอาหารกลางวัน
13.00 – 14.45 น.


ห้อง
M120
เทคนิคการตรวจสอบสมบัติฟิล์มบาง : ลักษณะพื้นผิวและส่วนประกอบทางเคมี (ต่อ)
เทคนิคการตรวจสอบสมบัติฟิล์มบาง : โครงสร้างจุลภาค, สมบัติทางแสง และ สมบัติทางไฟฟ้า
(อ.ดร.อาทิตย์ ฉิ่งสูงเนิน)

14.45 – 15.00 น.พักรับประทานอาหารว่าง
15.00 – 16.30 น.


ห้อง
M125
สาธิตการการวัดแรงยึดเกาะของฟิล์มบาง (Scratch testers)
สมบัติทางกลของฟิล์มบาง
– ความแข็ง, ความเหนียว, แรงยึดเกาะระหว่างรอยต่อ, แรงยึดเกาะภายในเนื้อฟิล์ม
– ข้อมูลความเชี่ยวชาญและความร่วมมือของกลุ่มวิจัยต่างๆ
– ข้อมูลแหล่งให้บริการต่างๆภายในประเทศ
(อ.กีรติ วารี และอ.วิทวัช วงศ์พิศาล)

คณะวิทยากร
1.อ.ดร.มนตรี เอี่ยมพนากิจ
ภาควิชาฟิสิกส์ คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยศิลปากร
2.อ.วิทวัช วงศ์พิศาล
ห้องปฏิบัติการเทคโนโลยีการเคลือบผิวและการประสาน
ศูนย์เทคโนโลยีโลหะและวัสดุแห่งชาติ
3.ผศ.ดร.พิษณุ พูลเจริญศิลป์
ภาควิชาฟิสิกส์ คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยมหาสารคาม
4.ผศ.ดร.อาทิตย์ ฉิ่งสูงเนิน
ภาควิชาฟิสิกส์ คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยมหาสารคาม
5.อ.กีรติ วารี
ห้องปฏิบัติการเทคโนโลยีการเคลือบผิวและการประสาน
ศูนย์เทคโนโลยีโลหะและวัสดุแห่งชาติ

ค่าลงทะเบียน 6,000 บาท
(หากชำระเงินภายในวันที่ 1 มิถุนายน 2560 ลดทันที 500 บาท เหลือราคา 5,500 บาท!)
**รับสมัครจำนวน 20 ท่าน เท่านั้น**

หมายเหตุ

• อัตราค่าลงทะเบียนรวมค่าอาหารว่าง อาหารกลางวัน เอกสารประกอบการอบรม และภาษีมูลค่าเพิ่ม 7%
• ศูนย์เทคโนโลยีโลหะและวัสดุแห่งชาติ เป็นหน่วยงานของรัฐ จึงไม่อยู่ในเกณฑ์ที่ต้องหักภาษี 3%
• ข้าราชการและพนักงานรัฐวิสาหกิจ มีสิทธิ์เบิกค่าลงทะเบียนและเข้าร่วมการอบรมโดยไม่ถือเป็นวันลา

การชำระค่าลงทะเบียน

• เงินสด / เช็ค สั่งจ่าย ศูนย์เทคโนโลยีโลหะและวัสดุแห่งชาติ ธนาคารกรุงเทพ จำกัด (มหาชน) ประเภทออมทรัพย์
   สาขาย่อยอุทยานวิทยาศาสตร์ เลขที่บัญชี 080-0-000846
• โอนเงินเข้าบัญชี ศูนย์เทคโนโลยีโลหะและวัสดุแห่งชาติ  ธนาคารกรุงเทพ จำกัด (มหาชน) ประเภทออมทรัพย์
   สาขาย่อยอุทยานวิทยาศาสตร์ เลขที่บัญชี 080-0-000846
   (กรุณาส่งหลักฐานการโอนเงินพร้อมระบุชื่อ, หน่วยงาน และหลักสูตรที่สมัครมาทางอีเมล boonrkk@mtec.or.th)

สอบถามรายละเอียดเพิ่มเติมได้ที่
งานพัฒนากำลังคนด้านเทคโนโลยีวัสดุเพื่ออุตสาหกรรม  (นายบุญรักษ์ กาญจนวรวณิชย์/ นายพลธร เวณุนันท์)
ศูนย์เทคโนโลยีโลหะและวัสดุแห่งชาติ
โทรศัพท์ 0 2564 6500 ต่อ 4675 หรือ 4677
E-mail: boonrkk@mtec.or.th

Scroll Up